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JSM7600F扫描电镜操作规程

2012年05月31日 10:21  点击:[]

(1)    按住预抽室上的VENT按纽,使预抽室放气;

(2)    将样品台固定在样品底座上;

(3)    按住预抽室的EVAC按纽,使预抽室抽真空;

(4)    按住操作面板上的LOW MAG,使LOW MAG亮;

(5)    待预抽室和样品室之间的挡板打开后,通过拉杆将样品台送进样品室;窗口会自动弹出样品台尺寸选项,点击所选用的样品台后,点击OK,随后将拉杆拉出;

(6)    如样品有磁性,除确保样品固定牢外,要将Z轴距离调到大于10mm

(7)    等样品室的真空读数达到4.4*10-4后,点击HT按钮,使其由Ready变为On

(8)    LOW MAG 模式下找到样品;

(9)    如需在高分辨模式下观察,将LOW MAG按扭按下,使之变暗。

(10)观察完成后,点击HT按钮,使其由On变为Ready

(11)确保所有的可抽拉探头(EBSD,BEC)退出样品室;

(12)点击EXCHANGE POSITION,使样品位置归零;

(13)通过拉杆将样品台拉出样品室;

(14)按住预抽室上的VENT按纽,使预抽室放气;

(15)将样品台从样品底座拿出。

(16)按住预抽室的EVAC按纽,使预抽室抽真空;

注意事项:

1.取放样品一定带手套操作,并确保样品在样品台上固定牢固;

2.进行能谱分析和BEC成像时,需将红外成像探头关掉;

3.能谱分析的工作距离(z)15mm,BEC成像时工作距离为10mm,EBSD成像时工作距离为25mm.

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