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JEOL2100F透射电镜日常操作规程

2012年05月31日 10:25  点击:[]

1.转换到Normal模式,加入液氮(漫溢后再加一次)。一天工作中每六小时加一次液氮。

2.将样品杆插入测角台,勿忘选择样品杆型号:

使样品杆上的螺丝对准镜筒沟槽处,将样品杆推入直至推不动,听到一声响后将PUMP/AIR按钮拨至PUMP(即向上),此时黄灯亮。待绿灯亮起后,先将样品杆顺时针旋转至转不动再推入至推不动,再顺时针旋转到底,再完全推入,等待黄灯灭。

3.检查离子泵真空(确保<4×10-5),开Beam。

4.先在低倍放大模式Low Mag下检查样品,再换至高倍模式Mag1。按下STD Focus键后,将Brightness聚最小,用Z轴在成像模式下消衍射斑点的方法聚焦样品。也可将Brightness散开,按下Wobbler X调Z轴使像衬度最弱。

5.选择没有样品的区域检查照明系统合轴:

(1)    聚光镜光阑对中及消象散:先逆时针旋转BRIGHTNESS使光斑最小,并用SHIFT键将光斑调至屏中心;加1档聚光镜光阑,顺时针旋转BRIGHTNESS使光斑散开,调节光阑旋钮上的X/Y方向使光阑处于屏中心;反复调节使光斑同心扩大缩小。聚拢电子束,按下COND STIG,调节DEF,使旋转BRIGHTNESS旋钮时电子束斑的形状保持圆形。

(2)    1-5合轴:当SPOT SIZE 1,按下F4,用SHIFT将电子束调到屏幕中心;当SPOT SIZE 2-5,按起F4,用SHIFT将电子束调到屏幕中心;反复调节,直到1-5时电子束都在屏幕中心。

(3)    调整静电中心(灯丝对中):放大倍数400K,首先将电子束居中,点击Anode Wobbler,按下F4,调节DEF,使光斑同心收缩;按起Anode Wobbler,光斑应该居中,若不居中,用SHIFT将其调居中;重复上面操作。

(4)    电压中心粗调:放大倍数40K,使圆斑(调节SHIFT)和中心小亮点(按下BRIGHT TILT后调节DEF)重合。

6.在样品区检查成像系统合轴:

(1)    电压中心细调:放大倍数400K,找样品上一特征位置放于荧光屏中心黑点处,将BRIGHTNESS散弱,按下 HT WOBBLER和BRIGHT TILT,调节DEF使光斑同心收缩,即参照的特征位置不变(用小望远镜观察)。

(2)    物镜消象散:放大倍数100K,找一非晶边缘,用CCD的LIVE FFT,按下OBJSTIG,调节DEF,在过焦条件下使得中心斑圆。

 

7.用小望远镜调节FOCUS细聚焦样品(最好选择小孔处或在样品边缘处)。F1抬起荧光屏,用CCD拍照。

8.看完一个样品后关BEAM,勿忘样品回零,拔出样品杆直至拔不动,逆时针转到底,再拔出至拔不动,再逆时针转到底,将PUMP/AIR按钮向下拨至AIR,等松气后完全拔出。

9.当天工作结束后,对液氮进行ACD,并点击Standby。

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